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| Rotational feedthrough using ultrasonic motor for high vacuum condition |
Morita, Niino, Asama |
Vacuum, Vol. 65, Issue 1, pp.85-90 (2002-02) |
| Electrostatic Levitation System In Vacuum Condition Aiming At Linear Bearings |
Toshiki Nino, Hidetaka Tsukamoto |
The Sixth International Conference on Motion and Vibration Control, pp.1071-1076 (2002-08). |
| 超音波モータを用いた超高真空対応回転導入器のフルベーク特性 |
高橋，森田，新野，浅間一 |
2002年度精密工学会春季大会，p431，(2002-03). |
| 超音波振動を利用した超高真空対応回転導入器（真空中駆動特性とベークアウト特性） |
高橋，森田，新野 |
第14回「電磁力関連のダイナミックス」シンポジウム pp.525-528，(2002-05). |
| 増幅器と定電圧電源を用いた静電浮上レールの浮上 |
新野，塚本 |
第14回「電磁力関連のダイナミックス」シンポジウム講演論文集，pp.115-118，(2002-05). |
| 真空環境におけるランプ入力による静電浮上レールの試作 |
新野俊樹，塚本英隆 |
ロボティクス・メカトロニクス講演会'02講演論文集（Robomec'02），CD-ROM，公演番号 1A1-B03，(2002-06) |
| 超音波モータを用いた超高真空対応回転導入器の摩擦材の検討 |
高橋，森田，淺間，新野 |
2002年度精密工学会秋季大会 p295，(2002-10) |
| 真空中浮上搬送装置を目指した静電浮上機構（静電レール）への交流浮上の応用 |
新野俊樹，塚本英隆 |
2002年度精密工学会秋季大会講演論文集p251，(2002-10). |
| SLS法によって作製された樹脂部品の再加熱による表面粗度改善の試み |
新野俊樹，道端正裕 |
2002年度精密工学会秋季大会講演論文集p479，(2002-10). |
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